SEM原位冷热台是一种在扫描电子显微镜（SEM）标准样品台上（无需改造电镜内部），提供样品原位变温测试的电镜附件。本产品通过外接法兰装置实现对冷热台上的样品进行控温，稳定后温控精度z高可达±0.1℃ 可实现样品变温测试的温度范围：-185~50℃ / -185~200℃，满足原位高低温材料相变微观表征。

SEM原位冷热台适合于各种样品在扫描电子显微镜中进行高低温结构研究，固定在现有样品台上。支持在现有各种扫描电子显微镜（蔡司、日立等）适配。

产品特点：

• 电热、液氮可实现快速升降温

• 可增加试样温度监测温度传感器

• 温控精度高±0.1℃，可编程阶梯控温

• 温控范围宽（-185~50℃ / -185~200℃）

• 可以在较大的电子束流下获得高质量图像

• 可适配SEM定制样品架，安装/拆卸过程简单

• 制冷完成测试后可快速（60℃/min）升温达到室温，正常更换样品，测试效率高。

   

产品应用：

图1 SEM冷热台一

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